Некоторые принципы создания пленочного тензодатчика накопления усталостных по- вреждений на основе твердого раствора (Bix Sb1-x )2Te3
Ключевые слова:
узкозонный полупроводник , пористые поликристаллические пленки, тензочувствительность, циклическая знакопеременная деформация, гистерезис изменения электрического сопротивления с деформаций, тензодатчик накопления усталостных повреждений.Аннотация
Приводятся результаты исследования деформационных характеристик поликристаллических пленок при односторонних циклических механических напряжениях. Пленки получались на полиамидной подложке методом термовакуумной конденсации молекулярных пучков и обладали столбчатой пористой структурой с размерами отдельных кристаллических зерен 2,0-2.5 мкм. Изучалось влияние статических и циклических деформаций на электрическое сопротивление и вольт амперные характеристики тензорезистивных пленок с целью изготовления на их основе тензодатчиков накопления усталостных повреждений. Показано, что при комнатной температуре в таких пленках обнаруживается высокая статическая тензочувствительность отн. ед. и наблюдается существенный гистерезис изменения сопротивления при малых количествах циклов знакопеременных деформаций.
Библиографические ссылки
Абдуллаев Э.А., Юлдашев Н.Х. Эффект пьезосопротивления в халькогенидах свинца и висмута. Ч.1- Ташкент, «Фан», 1989, 182 с.
Kazi I.H., Wild P.M., Moore T.M. Charactericterization of sputtered nichrome (80/20wt.%) films for strain guage applications. Thin Sol. Films, vol. 515, P. 2602 (2006).
Pazukha, I. M., Makukha, Z. M., Shabelnyk, Y. M., & Protsenko, I. Y. (2012). Tensoresistive properties of thin film systems based on Ag and Co. Journal of Nano-and Electronic Physics, 4(3), 3020-1.
Gerasimenko A.Yu., Ichkitidze L.P., Podgaetsky V.M., Selishchev S.V. Layers with the Tensoresistive Properties and their Possible Applications in Medicine. // Materials Physics and Mechanics 37 (2018). P. 153-158.
Ltider Elbrecht and Josef Binder. The Mechanical Properties of Thin Polycrystalline Silicon Films as Function of Deposition and Doping Conditions. Sensors and Materials, Vol. 11, No. 3 (1999) 163-179.
Маматкаримов О.О., Зайнабидинов С.З., Абдураимов А., Хамидов Р.Х., Туйчиев У.А. Динамические тензохарактеристики диодов с барьером Шоттки при импульсном всестороннем гидростатическом давлении // ФТП, 34 (1), 67 (2000).
Абдуллаев Э.А., Юлдашев Н.Х. Эффект пьезосопротивления в халькогенидах свинца и висмута. Ч.2 - Фергана, «Техника», 2008. 116 с.
Сулаймонов Х.М. Влияние циклической деформации на электропроводность пленок p-(Bi0.3Sb0.7)2Te3 на переменном токе. // Журнал технической физики. 2017. –T. 87, № 3, с. 471-472.
Shavkat Sh. Abdullaev, Nosirjon Kh. Yuldashev, Khusanboy M. Sulaymonov. Tensoresistive Properties of Thin Polycrystalline (Bi0.3Sb0.7)2Te3 Films at Static and Cyclic Deformations. International Journal of Modern Physics and Application. Vol. 3, No. 4, 2016, pp. 52-56.
Сулаймонов Х.М., Умаров М.Г., Юлдашев Н.Х. Тензочувствительность поликристаллических пористых пленок //Актуальные проблемы современной науки-Россия. 2015, №4.
Sulaymonov, H. M., & Yuldashev, N. K. (2016). Effect of internal stresses on the static strain characteristics of p-(Bi0.3Sb0.7)2Te3 composite films. Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 10(4), 878-882.
Xu, Z., Huang, C., Tan, C., Wan, M., Zhao, Y., Ye, J., & Zeng, W. (2021). Influence of microstructure on cyclic deformation response and micromechanics of Ti–55531 alloy. Materials Science and Engineering: A, 803, 140505.
https://doi.org/10.1016/j.msea.2020.140505
Chao He, Yujuan Wu, Liming Peng, Ning Su, Xue Li, Kun Yang, Yongjie Liu, Shucheng Yuan and Renhui Tian. (2018). Cyclic Deformation and Correspondent Crack Initiation at LowStress Amplitudes in Mg–Gd–Y–Zr Alloy. Materials, 11(12):2429. doi:10.3390/ma11122429 www.mdpi.com/journal/materials
Pengfei Wang, Toshiyuki Takagi, Takanori Takeno, Hiroyuki Miki. Early fatigue damage detecting sensors—A review and prospects // Sensors and Actuators A: Physical. Volume 198, 15 August 2013, Pages 46-60. https://doi.org/10.1016/j.sna.2013.03.025
Корякин А.А., Лещенко Е.Д., Дубровский В.Г. Влияние упругих напряжений на формирование осевых гетеропереходов в трехкомпонентных нитевидных нанокристаллах AIIIBV // Физика твердого тела, 2019, том 61, вып. С.2437-2441.
Бурык И.П., Воробьев С.И., Однодворец Л.В. Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni И Mo или Cr // ФИП, 7 (1,2), 115 (2009).
Yuldashev, N. K., Mamadieva, D. T., Nurmatov, O. R., Raxmonov, T. I., & Sulaymonov, X. M. (2019). The effect of mechanical deformation on the photovoltaic properties of semiconductor polycrystalline film structures CdTe: Sn. Scientific-technical journal, 23(3), 9-14.
Sulaymonov, Kh.M., Yuldashev, N. Kh. The Third European Conference on Physics and Mathematics, 12th September, Vienna, Austria. p.19 (2015).
Tokhirbek Imomaliyevich Rakhmonov. Photosensitivity Spectra of Thin Films from a CdSexS1-x Solid Solution // Journal of Applied Mathematics and Physics. 2022. Vol.10 No.12, P.3676-3683. (JIF, IF:0.71). https://doi.org/10.4236/jamp.2022.1012245
Rakhmonov T.I., Mamadiyeva D.T., Yuldashev N.Kh. Photoelectric phenomena in thin Polycrystalline CdTe, CdSe, CdS films under mechanical deformation // European Science Review. – 2021. – No 11-12. – P. 40-49. (05.00.00, №3). (GIF, IF:1.47).
Nurmatov O., Rahmonov T., Sulaymonov Kh., Yuldashev N. Phototenzoelectric properties of polycrystalline films of chalcogenides of cadmium and zinc, produced by portional evaporation in vacuum // Euroasian Journal of Semiconductors Science and Engineering. 2020. Vol. 2. Iss. 5. P.40-45. (01.00.00, №16).
